Ficheiro:Extreme ultraviolet lithography tool.jpg
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Data e hora | Miniatura | Dimensões | Utilizador | Comentário | |
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atual | 18h19min de 22 de setembro de 2011 | 713 × 605 (80 kB) | Bomazi | {{Information |Description ={{en|1=EUVL tool, that deposits virtually defect-free, ultra-thin films on integrated circuits.}} |Source =''Laser Programs, the first 25 years, 1972-1997'', available from [http://www.osti.gov/bridge/product.biblio. |
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